Вход
Быстрая регистрация
Если вы у нас впервые: О проекте FAQ
0

В чем заключается планарная технология?

Михаил Заветка [423] 7 месяцев назад
1

В формировании транзисторных структур (и не только транзисторов) на поверхности полупроводникового кристалла. То есть на плоскости - отсюда и название такой технологии. Первые транзисторы, дискретные, изготавливались "в объёме": эмиттер и коллектор создавались по разные стороны полупроводникового кристалла, называвшегося базой. Это название и по сей день осталось у управляющего электрода биполярного транзистора, хотя реально физическая база (подложка) для транзисторов в планарной технологии выполняет роль коллектора.

Суть технологии, если кратко: на поверхности кристалла создаётся маска, например, с помощью термического окисления кремния (поначалу) или нанесением рисунка из фоторезиста (в современном процессе). Затем в этой маске с помощью селективного травления делаются окна, и через них в кремний проводится диффузия примеси (в последнее время почти всегда вместо диффузии используется ионная имплантация). Этот процесс повторяется несколько раз, потому что примесь надо загнать разную, в разные места и в разном количестве. Когда внутри проводника все нужные области сформированы, они соединяются друг с другом и с внешними выводами кристалла с помощью металлических проводников: на плёнку окисла наносится дополнительный пассивирующий слой, на него напыляется металл, и, опять же с помощью фотолитограции, металл стравливается там, где его не должно быть, и остаются только токопроводящие дорожки там, где мы хотим получить соединения. Слоёв металлизации может быть несколько, особенно для сложных микросхем, типа процессоров или памяти.

Собсно, это всё. Толщина активной области внутри полупроводника - это мелкие доли микрона, тогда как весь кристалл - это подчас десятки миллиметров. То есть соотношение "толщина - площадь" для микросхемы примерно такое же, как для газетного листа. Вот почему эта технология и называется планарной (плоскостной).

Знаете ответ?
Есть интересный вопрос? Задайте его нашему сообществу, у нас наверняка найдется ответ!
Делитесь опытом и знаниями, зарабатывайте награды и репутацию, заводите новых интересных друзей!
Задавайте интересные вопросы, давайте качественные ответы и зарабатывайте деньги. Подробнее..
регистрация
OpenID